大家看到一连串的英文字母也许有些烦恼，其实FFU air filter就是我们所说的FFU空气过滤器，那么接下来我们主要给大家介绍关于FFU空气过滤器的安装要求以及所需要的工具，希望通过我们的介绍，可以给大家带来一定的帮助。FFU的**大送风量是0.45m/s+20%。大多FFU风机过滤机组材质采用***覆铝锌板，**生锈，*腐蚀，轻巧坚固，箱体采用黄金分割比例点设计，FFU风机过滤机组美观大方，超薄机身厚度仅为23cm，加上过滤器总厚度不超过30cm；重量仅为24kg，节约空间，方便施工安装和日常维护，FFU风机过滤机组节能效果明显，超低噪音，风压扩散均匀，出风面风速均匀稳定，功耗低运行成本低，工作寿命长达5万小时以上。
**种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为**主要的洁净设计方案。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
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