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---厂风淋室洁净室环境指标与监测位置确定

发布日期:2023-12-04 11:45 浏览次数:23

***厂风淋室洁净室环境指标与监测位置确定

6.1.1IE部确立洁净室环境指标以及监测点位置(如:微尘粒子、温湿度等)并制作LAYOUT,经部门经理批准后发送至工程和品质等部门进行检测,当车间LAYOUT变更时,IE部及时更新LAYOUT并升级版本,经部门经理批准后发送至工程和品质等部门。

6.1.2除FPC事业部的洁净室无ESD要求外,其它所有洁净室应该符合ESD标准,详情细节可参考《ESD车间运转和维护指引》要求。

6.1.3公司洁净室有10000级、5000级、1000级、100级之分,表示每立方英尺室内空气中分别含有大于或等于0.5μm(10-6m)的微尘粒子不超过10000、5000、1000及100颗即为合格,测量时使用微尘粒子计数计,距地板高1.2~1.25M

6.1.4洁净室温度标准为23±2°C,湿度标准为60±10%,测量时使用温湿计,距地板高1.2M

6.1.5洁净室室内压力与室外压力差在5Pa~20Pa为正常

6.1.6洁净室噪音小于65分贝为正常,测量时使用噪音计,距地板高1.2~1.25M

6.1.7洁净车间应该符合照度要求,具体标准可参考《ESD车间运转和维护指引》规定。

6.2洁净室运转管理

6.2.1作业人员进出管理

6.2.1.1对洁净室内作业人员应该进行的知识培训,经考试合格后,方可进入洁净室工作,培训内容及频率如下:

培训内容

担当

频次

洁净室的特点、构造、洁净技术基础知识

工程部

一年

进入洁净室之注意要点

生产部

半年

洁净室之维护、清洁

工程部

一年

6.2.1.2作业人员进入洁净室数目以维持**小限度为原则(愈少愈好),并依洁净室进出标准流程进出洁净室,如下图所示。出则相反方向进行,只是不须经风淋室之脱尘处理,而从风闸室出来,同时注意以下事项:

风淋室喷嘴口应固定角度,以确保人体各个部位都可以吹到

使用时人员应垂直站立,并转体三圈,以使全身上下都能接受冲洗的效果,并且风淋室风淋的时间15S

风淋室的可容纳人数视风淋室的面积及喷嘴个数决定,人数规定应张贴于各风淋室

6.2.1.3作业人员进入洁净室应该按要求穿防静电衣、防静电工鞋,并戴好防静电手套和胶手套,胶手套若有污迹可用酒精擦洗干净,如有破损得即时更换,其着装要求及行为规范如下:

着装防静电衣时,头发不得外露(长发需用发夹,发网夹起)

口罩应该盖住鼻孔,避免呼出气体直接进入空气

颈部衣领扣应该扣好,不留空隙,不得露出内部衣物

禁止在洁净室内卷起衣袖、裤腿,戴上手套后,禁止触及不洁净的东西

人员步行及作业要静静地进行,禁止在洁净室内跑动,以控制发尘量。

禁止在车间内戴手套、拉开衣袖和裤角、将衣服和鞋子的拉链拉开

6.2.2物料、设备进出管理

6.2.2.1除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原物料及设备之进出也应该经过洁净程序,方不至于影响洁净室之洁净度。其进出洁净室之流程如下图所示。

设备进出流程:

6.2.2.3搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,应该事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助

6.2.2.4物品及工作台摆放不可堵住回风口,以免影响气流流动。

6.2.2.5各工序生产中周转使用的容器,应该设置清洁点,或专用清洁区,按公用作业指导进行清洁后的容器方可投入使用。

6.2.3洁净室内用品管理

6.2.3.1洁净室工作台采用不锈钢材质制成,并在表面铺防静电胶皮。

6.2.3.2搬运车材料采用不锈钢,车轮为*磨性高的橡胶轮,推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。

6.2.3.3使用影印资料,则须将文件放在透明之塑胶套内或加覆背,同时不可于室内撕破或将纸柔成一团,避免造成环境之污染。

6.2.4化学用品管理

6.2.4.1洁净室内化学用品如酒精,丙酮,黑胶等领用,储存应按照MSP-Z-016-005《化学品管理指引》的要求执行。

6.2.4洁净室清洁与维护管理

6.2.4.1规划各设备配置空间时,事先宜考虑不易积聚微尘之结构,并以容易清洁为原则。

6.2.4.2真空泵等容易产生污染物的这类设备,应装排气管线排气。

6.2.4.3生产及设备应定期清扫,以避免微尘堆积,详情细节可参考MSP-Z-L013-003《LCM车间安全和清洁维护指引》文件规定执行。

6.2.4.4生产设备需每月定期保养,保养应按各作业指示进行。

6.2.4.5磨损、切削均为发生微尘的原因,工作时需用将发尘部份盖住。

6.2.4.6易产生尘埃的设备,若可能的话应布置于风尾地点

6.2.4.7在作业过程中,尽量减少触摸零件或产品的次数

6.2.4.8各项厂务设施的供应(如:水、气体和化学品)在进入生产设备前应有过滤设备

6.2.4.9为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀设置

6.3洁净室环境指标监测与维护

6.3.1洁净室内微尘粒子数、照度由品质部每月测量一次,并将测试数据分别填入<微尘粒数测试记录>和<照度测试记录表>中。

6.3.2洁净室内压差、温湿度由品质部每日测量一次,并将测试数据分别填入<洁净室压差记录表>和<温湿度记录>中。

6.3.3洁净室内噪音由品质部每半年测试一次,并将测试数据填入<洁净室噪音测试记录表>中。

6.3.4若洁净室各项环境指标异常,由品质部联络行政部,由其自行或联络施工单位进行改善,若洁净室某一局部微尘粒子超标(如:无尘台、打印机),可联络IE部进行改善。

6.3.5用于测量温湿度、微尘粒子数、照度、压差及噪音的仪器应由仪器工程师负责每年送计量所校正一次

6.3.6若以上标准如某一方面与客户标准有冲突,以客户标准为准,如客户无明确要求或*此标准,按以上标准执行。

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